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2004.7.1

vol.2

●半導体産業新聞へ掲載●

半導体ベンチャー2004
新たなIT革命の担い手たち

エッチング工程の高周波機器で、独占的地位

 

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2003.9.1

vol.1

① RF電源機器類の新たな開発挑戦
<デジタル回路技術とソフト処理技術を駆使したプロセスウインド拡大>
1、会社概要
三誠産業株式会社は、1984年に繊維事業の広島工場として設立、1995年に半導体部門を併営した。1998年に半導体関連機器の開発製造に一本化し今日に至る。
主製品は、RF電源・RF MATCHING BOX・ガスラジカル電源、プロセスチャンバーRFインターロックシステム・RF電力測定器等である。半導体最先端プロセスへの関連機器開発、および製造を中心に企業展開を測っている。

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