| 1984年 | 衣料品製造を目的に広島県福山市草戸町に資本金3,000,000円にて設立 |
| 1995年 | 9月電子部門開設 同年11月資本金7,000,000円、12月10,000,000円に増資 |
| 1996年 | Digital Storage UNIT開発、製造、販売開始 RF MATCHING BOX修理業務開始 RF GENERATOR開発、製造、販売(300W) |
| 1997年 | RF GENERATOR修理業務 開始 RF GENERATOR開発、製造、販売(600W) SYSTEM CONTROLLER開発、製造、販売 開始 |
| 1998年 | 
CSG-1000 RF Complete Set(RF GEN+RF MATCH)RF MATCHING BOX(16bit CPU)開発、製造、販売 RF MATCHING Control Soft開発 福山市川口町にテクノロジーセンター新設 |
| 1999年 | 
セミコン ジャパン出展RF Power TESTER 13.56MHz 2KW開発、製造、販売 RF MATCHING BOX(32bit CPU)SM-1000、SM-2000、SM-3000 開発、製造、販売開始 |
| 2000年 | 
セミコン TAIWAN出展RF MATCHING BOX SMA-1000 ETCH(32bit CPU) RF MATCHING BOX SMA-1000 CVD(32bit CPU) RF GENERATOR SG-2000、SG-3000(32bit CPU)開発、製造、販売 マグネトロンヘッド修理開発 福山市松永町にテクノロジーセンター開設 |
| 2001年 | 
高周波機器の開発・販売を目的とした「サンセイジェネリック株式会社」を設立 これに伴い、三誠産業株式会社は製造・保守を担当 CSG-600Ⅱ(32bit CPU)RF Complete Set PVD RF MATCHING BOX修理業務 開始 CVD Heater UNIT修理業務 開始 CVD Drive UNIT修理業務 開始 Lamp Driver UNIT修理業務 開始 TCP DSQ RF Matching Box SML-1250DSQを開発 販売 ファインテックジャパン出展／セミコン TAIWAN出展／セミコン ジャパン出展 マグネトロンヘッド修理開始 Low Cost P-5000 RF Matching Box Ver Kit開発 販売 |
| 2002年 | 
DPS SM-2500、SMA-1000D RF Matching System開発TCP Process Top RF Matching Box SML-1250PT開発 販売 Low Cost RF Matching Box開発 販売 セミコン TAIWAN出展／セミコン ジャパン出展 PVD スパッタ電源修理開始 マグネトロンヘッド電源開始 |
| 2003年 | 
HDP CVD RF Matching System開発 販売PVD DC Generator修理開始 P-5000用 メカニカル ドライブ Robot開発 販売 セミコン ジャパン出展／セミコン TAIWAN出展 P-5000 Etching用薄型ブレード開発 販売 マグネトロンヘッドコントローラー開始 RF インターロック用 RF TESTERを小型に変更、USBに対応 福山市明王台にテクノロジーセンター開設 |
| 2004年 | 
TCP Bot RF Matching System開発セミコン TAIWAN出展／セミコン ジャパン出展 P-5000用 高真空 Robot開発 販売 Robot 高寿命、高トルク、改善Motorを開発 販売 H/E修理、Ver UP品開発 販売 Process Gas ラジカルUNIT開発 販売 |
| 2005年 | 
P-5000用 メカニカル ドライブ 高寿命 高真空 Robot開発 販売Centura DPN RF System 開発 販売 セミコン ジャパン出展／セミコン TAIWAN出展 福山市新涯町に工場(1F) 、デザインセンター(3F) 、デザインセンター(3F)新設 |
| 2006年 | 
福山市新涯町にテクノロジーセンター(5F)、 駐車場を新設Centura HP Type Robot開発 販売 Centura DPS-2 Poly Metal RF System開発 販売 HDP SSD PCB Ver UP品を開発 販売 Lam Versys Kiyo300mm TCP Bias RF System開発 販売 セミコンジャパン出展／セミコンTAIWAN出展 |
| 2007年 | 
Centura VHP Type Robot開発 販売Centura E-Max RIE RF System開発 販売 Centura HDP 300mm RF System開発 販売 Lam Versys Metal300mm TCP Bias RF System開発 販売 AMAT VME SSD System開発 販売 AMAT P-5000、Centura、Endura 向け LCD System開発 販売 セミコンジャパン出展／セミコンTAIWAN出展 |
| 2008年 | 
本社 工場にクリーンルーム新設高真空 高精度 モノブロックAL 削りだし真空Chamber1000mm角を設置 高真空 高精度 モノブロックAL 削りだし真空Chamber1500mm角を設置 高精度 Robot専用石定盤を設置 常時記録型 高精度Heリークデテクター 2台設置 リモート プラズマ実験設備設置 Lam Versys 45 Versys 300mm TCP Bias RF System開発 販売 Lam Exelan 300mm System開発 販売 Novellus C300 Speed RF System開発 販売 セミコンジャパン出展／セミコンTAIWAN出展 |
| 2009年 | 
本社 工場ISO14001 環境対策 外断熱、高気密 省エネ 改装実施本社 工場ISO14001 環境対策 全エアコン 超省エネタイプに改装 (消費電力50％低減) AMAT Producer 300mm Fixd Match+RF Generator System開発 販売 Lam Versys 45 Versys3x 2X 300mm TCP Bias RF System開発 販売 Lam Exelan 300mm 3x 2X System開発 販売 Novellus ALtus RF System開発 販売 Novellus Vector RF System開発 販売 太陽電池バックシート製造System開発 販売 太陽電池 LCD シート巻取りSystem開発 販売 セミコンジャパン出展／セミコンTAIWAN出展 |
| 2010年 | 
テクノロジーセンターISO14001環境対策 外断熱、高気密省エネ 改装実施 テクノロジーセンターISO14001環境対策 全エアコン超省エネタイプに改装(消費電力50％低減) テクノロジーセンターISO14001環境対策 エレベーター超省エネタイプに改装(消費電力30％低減) テクノロジーセンターISO14001環境対策 超省エネ 節水型タイプトイレに改装(50％節水) 本社 工場 ISO14001環境対策 超省エネ 節水型タイプトイレに改装(50％節水) 本社 工場 ISO14001環境対策 ペアー断熱ガラスに改装(消費電力10％低減) SEME PhotoMask 製造RF System開発 販売 AMAT HDP 300mm Fixd Match+RF Generator System開発 販売 Lam Versys 45 Versys C3 3x 2X 300mm TCP Bias RF System 開発 販売 Lam Exelan 300mm+H 3x 2X System 開発 販売 TEL Ox System RF System開発 太陽電池バックシート製造温度調整System 開発 販売 医療用 微量X線診断素子製造装置 開発 販売 |
| 2011年 | 
Lam EXELAN 27MHz/2MHz RF MATCHING SYSTEM開発 販売高速RF TESTER Ver2 27MHz,2MHz開発 販売 Canon STRIP RF MATCHING SYSTEM 開発 販売 LCD スマートフォン向け RF MATCHING SYSTEM 開発 販売 環境対策 太陽電池10kw SYSTEM導入 SEMI FORUM JAPAN 2011出展 最新微細加工技術について発表 2x～3x ETCHING SYSYTEMについての発表 高圧ICP PLASMA SYSTEMについて発表 |
| 2012年 |
本社、節電型RF照明に改装 30%節電実施 10Kw 太陽電池SYSTEM導入 ｽﾄﾛﾝｸﾞﾊｲﾌﾞﾘｯﾄ車 導入 ｴﾈﾙｷﾞｰ使用量40%低減 Lam EXELAN Flex-Ⅲ 27MHz/2MHz MATCHING SYSTEM開発、販売 TEL VESTA 10MHz/32MHz MATCHING SYSTEM開発、販売 Lam Versys 45-Ⅱ MATCHING SYSTEM開発、販売 ULVAC LCD MATCHING SYSTEM開発、販売 AKT LCD MATCHING SYSTEM開発、販売 放電学会にてPLASMA SYSTEM研究発表 |
| 2013年 |
IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Plasma RF Generator論文掲載 IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Bosh Process ICP Plasma論文掲載 LCD 7.5KW RF Match,RF Generator Ver UPリリース |
| 2014年 |
IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Plasma RF Generator論文掲載 IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Bosh Process ICP Plasma論文掲載 Bosh Process RF Match, RF Generator Ver UPリリース 全館LED照明設備導入 |
| 2015年 |
IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Plasma RF Generator論文掲載 IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Bosh Process ICP Plasma論文掲載 RFG RF Generator Ver UPリリース Apex RF Generator Ver UPリリース GMW-, GMW-RF Generator Ver UP |
| 2016年 |
IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 Plasma RF Generator論文掲載 IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、 IC Plasma論文掲載 300mm Lam Exelan Felix GX RF Match, RF Generator Ver UPリリース 300mm TEL Vegas RF Match, RF Generator Ver UPリリース NOVA25, NOVA50 RF Generator Ver UP GHW50 RF Generator Ver UP |
| 2017年 |
IEEJ電気学会 部門A 基礎、論理、“プラズマ生成用電源におけるプッシュプル型ＭＯＳ-ＦＥＴ インバータの電力変換効率と損失電力”、電気学会論文誌136巻8号Ｄ分冊、pp｡511-521(2016). IEEJ電気学会 部門D 産業部門“Stabilization of Impedance Matching Sysytem Using RF Transformer”. 電気学会論文誌136巻7号A分冊、pp.404-408(2016). IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、Plasma RF Generator論文掲載 IEEDJ放電学会 年次総会基調講演、Bosh Process ICP Plasma論文掲載 本社第二工場用地取得 800坪 |
| 2018年 |
尾道デザインセンター(5F)開設 150坪 本社第二工場用地造成 LCD 8.5G RF Generator 30KW開発、製造、保守 LCD 10.5G RF設備導入 AC380-500V 100KW 電源設備、50KW RF Dummy Load RF Power Meter導入 300mm ETCHING SYSTEM用ESC 開発、製造 |
| 2019年 |
癌 高周波治療用、RF Matching Box＋RF Generator＋RF Sensorを開発、販売 (国内シェア65％健康保険適用) 300mm RPSシステム保守、開発 300mm用 MKS RF Generator上位互換機、開発、製造、販売 300mm用 AE RF Generator上位互換機、開発、製造、販売 |
| 2020年 |
高周波電力測定器、OEM販売 開発、(1000台以上実績) 200mm用省エネRF Generator開発、製造、販売 300mm用 RF Sensor OEM 開発、製造、販売 (1000台以上実績) |
| 2021年 |
R&Dセンター竣工(2000㎡) 200/300mm用HDP CVD Lam System用RF Generator開発、販売 最新RF 測定システム導入 300mm用 ESC 高圧電源 開発、製造、販売 |
| 2022年 |
R&Dセンター開所 次世代 省エネ(2022年4月施行 新省エネ法 初対応) ペアガラス＋次世代断熱(120mm)ウレタン断熱＋二重折半屋根(二重断熱) 次世代 地熱利用冷却水システム導入(800ℓ／min) 200/300/380/400/440/480/500V対応大型電源装置導入 (600KVA/250KVA) インバータ式天井クレーン2t導入 インバータ式エレベーター450kg導入 バリアフリー設計導入 省エネエアコン導入 廃棄物フリータイル全面導入 強耐震構造(グリット工法)導入 200/300mm HDP CVD AMAT System用RF Generator開発販売 最新CADシステム導入(機械/電気/構造) 最新CAD用AO/AIプロクターシステム導入 リモート会議システム導入 コロナ対策換気システム導入 コロナ対策、セパレート会議室(3室)/打ち合わせルーム(2室) |
| 2023年 |
128KW RF Generator開発、製造 本社、本社工場、テクノロジーセンター最新自動火災警報器導入 全社、防災システム導入、無停電(UPS)導入、防災グッズ導入(水、食料他) リチウムイオン電池導入 |
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