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沿革

半導体業界のエクセレントカンパニーを目指して

 | 1984~ | 1990年~ | 2000年~ | 2010年~ |
1984年 衣料品製造を目的に広島県福山市草戸町に資本金3,000,000円にて設立
1995年 9月電子部門開設
同年11月資本金7,000,000円、12月10,000,000円に増資
1996年 Digital Storage UNIT開発、製造、販売開始
RF MATCHING BOX修理業務開始
RF GENERATOR開発、製造、販売(300W)
1997年 RF GENERATOR修理業務 開始
RF GENERATOR開発、製造、販売(600W)
SYSTEM CONTROLLER開発、製造、販売 開始
1998年 P-5000 CSG-1000 RF Complete Set(RF GEN+RF MATCH)
RF MATCHING BOX(16bit CPU)開発、製造、販売
RF MATCHING Control Soft開発
福山市川口町にテクノロジーセンター新設
1999年 P-5000 セミコン ジャパン出展
RF Power TESTER 13.56MHz 2KW開発、製造、販売
RF MATCHING BOX(32bit CPU)SM-1000、SM-2000、SM-3000
開発、製造、販売開始

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2000年 SG-2000 セミコン TAIWAN出展
RF MATCHING BOX SMA-1000 ETCH(32bit CPU)
RF MATCHING BOX SMA-1000 CVD(32bit CPU)
RF GENERATOR SG-2000、SG-3000(32bit CPU)開発、製造、販売
マグネトロンヘッド修理開発
福山市松永町にテクノロジーセンター開設
2001年 P-5000 高周波機器の開発・販売を目的とした
「サンセイジェネリック株式会社」を設立
これに伴い、三誠産業株式会社は製造・保守を担当
CSG-600Ⅱ(32bit CPU)RF Complete Set
PVD RF MATCHING BOX修理業務 開始
CVD Heater UNIT修理業務 開始
CVD Drive UNIT修理業務 開始
Lamp Driver UNIT修理業務 開始
TCP DSQ RF Matching Box SML-1250DSQを開発 販売
ファインテックジャパン出展/セミコン TAIWAN出展/セミコン ジャパン出展
マグネトロンヘッド修理開始
Low Cost P-5000 RF Matching Box Ver Kit開発 販売
2002年 SMA-1000D DPS SM-2500、SMA-1000D RF Matching System開発
TCP Process Top RF Matching Box SML-1250PT開発 販売
Low Cost RF Matching Box開発 販売
セミコン TAIWAN出展/セミコン ジャパン出展
PVD スパッタ電源修理開始
マグネトロンヘッド電源開始
2003年 RF-TESTER HDP CVD RF Matching System開発 販売
PVD DC Generator修理開始
P-5000用 メカニカル ドライブ Robot開発 販売
セミコン ジャパン出展/セミコン TAIWAN出展
P-5000 Etching用薄型ブレード開発 販売
マグネトロンヘッドコントローラー開始
RF インターロック用 RF TESTERを小型に変更、USBに対応
福山市明王台にテクノロジーセンター開設
2004年 RF-TESTER TCP Bot RF Matching System開発
セミコン TAIWAN出展/セミコン ジャパン出展
P-5000用 高真空 Robot開発 販売
Robot 高寿命、高トルク、改善Motorを開発 販売
H/E修理、Ver UP品開発 販売
Process Gas ラジカルUNIT開発 販売
2005年 CENTURA P-5000用 メカニカル ドライブ 高寿命 高真空 Robot開発 販売
Centura DPN RF System 開発 販売
セミコン ジャパン出展/セミコン TAIWAN出展
福山市新涯町に工場(1F) 、パーツセンター(3F) 、デザインセンター(3F)新設
2006年 駐車場新設 福山市新涯町にテクノロジーセンター(5F)、 駐車場を新設
Centura HP Type Robot開発 販売
Centura DPS-2 Poly Metal RF System開発 販売
HDP SSD PCB Ver UP品を開発 販売
Lam Versys Kiyo300mm TCP Bias RF System開発 販売
セミコンジャパン出展/セミコンTAIWAN出展
2007年 イメージ Centura VHP Type Robot開発 販売
Centura E-Max RIE RF System開発 販売
Centura HDP 300mm RF System開発 販売
Lam Versys Metal300mm TCP Bias RF System開発 販売
AMAT VME SSD System開発 販売
AMAT P-5000、Centura、Endura 向け LCD System開発 販売
セミコンジャパン出展/セミコンTAIWAN出展
2008年 クリーンルーム 本社 工場にクリーンルーム新設
高真空 高精度 モノブロックAL 削りだし真空Chamber1000mm角を設置
高真空 高精度 モノブロックAL 削りだし真空Chamber1500mm角を設置
高精度 Robot専用石定盤を設置
常時記録型 高精度Heリークデテクター 2台設置
リモート プラズマ実験設備設置
Lam Versys 45 Versys 300mm TCP Bias RF System開発 販売
Lam Exelan 300mm System開発 販売
Novellus C300 Speed RF System開発 販売
セミコンジャパン出展/セミコンTAIWAN出展
2009年 イメージ 本社 工場ISO14001 環境対策 外断熱、高気密 省エネ 改装実施
本社 工場ISO14001 環境対策 全エアコン 超省エネタイプに改装
    (消費電力50%低減)
AMAT Producer 300mm Fixd Match+RF Generator System開発 販売
Lam Versys 45 Versys3x 2X 300mm TCP Bias RF System開発 販売
Lam Exelan 300mm 3x 2X System開発 販売
Novellus ALtus RF System開発 販売
Novellus Vector RF System開発 販売
太陽電池バックシート製造System開発 販売
太陽電池 LCD シート巻取りSystem開発 販売
セミコンジャパン出展/セミコンTAIWAN出展

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2010年 イメージ テクノロジーセンターISO14001環境対策 外断熱、高気密
省エネ 改装実施
テクノロジーセンターISO14001環境対策
全エアコン超省エネタイプに改装(消費電力50%低減)
テクノロジーセンターISO14001環境対策
エレベーター超省エネタイプに改装(消費電力30%低減)
テクノロジーセンターISO14001環境対策 超省エネ 節水型タイプトイレに改装(50%節水)
本社 工場 ISO14001環境対策 超省エネ 節水型タイプトイレに改装(50%節水)
本社 工場 ISO14001環境対策 ペアー断熱ガラスに改装(消費電力10%低減)
SEME PhotoMask 製造RF System開発 販売
AMAT HDP 300mm Fixd Match+RF Generator System開発 販売
Lam Versys 45 Versys C3 3x 2X 300mm TCP Bias RF System 開発 販売
Lam Exelan 300mm+H 3x 2X System 開発 販売
TEL Ox System RF System開発
太陽電池バックシート製造温度調整System 開発 販売
医療用 微量X線診断素子製造装置 開発 販売
2011年 イメージ Lam EXELAN 27MHz/2MHz RF MATCHING SYSTEM開発 販売
高速RF TESTER Ver2 27MHz,2MHz開発 販売
Canon STRIP RF MATCHING SYSTEM 開発 販売
LCD スマートフォン向け RF MATCHING SYSTEM 開発 販売
環境対策 太陽電池10kw SYSTEM導入
SEMI FORUM JAPAN 2011出展
最新微細加工技術について発表
2x~3x ETCHING SYSYTEMについての発表
高圧ICP PLASMA SYSTEMについて発表
2012年 本社、節電型RF照明に改装 30%節電実施
10Kw 太陽電池SYSTEM導入
ストロングハイブリット車 導入 エネルギー使用量40%低減
Lam EXELAN Flex-Ⅲ 27MHz/2MHz MATCHING SYSTEM開発、販売
TEL VESTA 10MHz/32MHz MATCHING SYSTEM開発、販売
Lam Versys 45-Ⅱ MATCHING SYSTEM開発、販売
ULVAC LCD MATCHING SYSTEM開発、販売
AKT LCD MATCHING SYSTEM開発、販売
放電学会にてPLASMA SYSTEM研究発表

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各センターのご案内
  • 本社・本社工場
    721-0955
    広島県福山市新涯町2丁目14番3号
    TEL:(084)981-2770
    FAX:(084)981-2780
    地図
  • テクノロジーセンター
    721-0955
    広島県福山市新涯町2丁目14番3号
    TEL:(084)981-2770
    FAX:(084)981-2780
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  • パーツセンター
    〒720-0834
    広島県福山市明王台1丁目3番
    TEL:(084)949-2740
    FAX:(084)949-2750
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