RF电源机器类新的开发挑战
用数字回路技术和软件处理技术来驱动扩大Process Window
1,、公司概要
三诚产业株式会社、是在1984年作为缝纫事业的广岛工厂而设立的、在1995年时和半导体部门进行了合并运营。在1998年时半导体关联机器的开发制造进行了一体化直至现在。
主要产品是RF电源・RF MATCHING BOX・Radical gas电源、Process Chamber RF Inter lock System・RF电力测定器等。半导体最先端Process方面的关联机器开发、以及正在为测量以制造为中心为的企业而展开中。

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